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反应离子刻蚀机（ME-3A）
双面光刻机（MA6 /BA6）
键合机（SB6e）
探针台（SIGNATONE S450）
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氧化／扩散炉（L4512II-36/ZM）
低压化学气相淀积系统（L4110II-3/ZM）
台阶仪（Xp-100）
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