等离子去胶机（BRANSON IPC3000S）

主要功能：用于干法去除光刻胶，去除基片残胶，扫底膜工艺

主要指标：基片尺寸：2-6英寸

等离子体频率：13.56MHz

射频电源功率：0～750W可调

去胶，扫底模速率：>2000埃／Min

厂 家：美国Allwin21 CORP.