旋转冲洗甩干机（CXS-1150A）

主要功能：用于硅片、掩模板等的高洁净度冲洗甩干。

主要指标：硅片直径≥100mm

氮气压力：0.25～0.35MPa

氮气过滤精度：≤0.005um

旋转腔转速：300～2400r/min

厂 家：中电集团45所