氧化／扩散炉（L4512II-36/ZM）

主要功能：用于扩散、氧化、退火等工艺。

主要指标：衬底直径100mm

温控范围：400～1250℃

恒温区长度：400mm

恒温区控制精度：≤±0.5% 801～1250℃

≤±1% 400～800℃

恒温区单点稳定性：≤±0.5%／24hour 801～1250℃

≤±1%/hour 400～800℃

厂家：七星华创