台阶仪(Xp-100)
主要功能:用于微槽及微结构的深度/高度测量。
主要指标:探针曲率半径:2.5um
样品厚度:≤20mm
垂直扫描范围:≤1200um
垂直分辨率:0.38埃
厂 家:Ambios Technnology Inc.