光学三维形貌测试仪（Xi-100）

主要用途：微结构三维形貌测量

主要指标：垂直分辨率：＜0.1nm；

最大样品尺寸：400×400×100mm

最小样品反射率：1%@550nm；

Z向范围：100um；

3-D显示分析软件

厂 家：Ambios Technnology Inc.