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箱式真空镀膜机(ZZS550-2/G)

作者:     发布时间:2017/01/20   浏览次数:

箱式真空镀膜机(ZZS550-2/G

主要用途:用于在在4英寸圆晶上生长金属薄膜以及化合物半导体等

主要指标:极限真空度2.5×10-4 Pa

保真空度:≤5×10-1Pa

电子枪功率:6KW/支

离子轰击功率:0.6KW

最大蒸发电流:350A

厂 家:成都南光机器有限公司