箱式真空镀膜机(ZZS550-2/G)
主要用途:用于在在4英寸圆晶上生长金属薄膜以及化合物半导体等
主要指标:极限真空度2.5×10-4 Pa
保真空度:≤5×10-1Pa
电子枪功率:6KW/支
离子轰击功率:0.6KW
最大蒸发电流:350A
厂 家:成都南光机器有限公司