真空微电子压力传感器是利用真空微电子传感器技术、MEMS技术等，将带过载保护环的硅微场致发射阴极锥尖阵列、真空微腔、绝缘层、阳极弹性膜一体化集成的一种新型的压力传感器。

该压力传感器具有过载自保护、温度稳定性好、灵敏度高、响应速度快、抗辐射、工作电压低、功耗小、体积小、可批量生产、二次仪表简单等优点。