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射频微机械无源元件

作者:     发布时间:2007/12/24   浏览次数:

采用微机械技术在硅基上加工微机械电容、电感、L-C滤波器、微机 械谐振器等射频微机械元件,实现硅微体加工技术与平面IC技术的一体化三维集成。