利用微电子技术、微光学技术、图像传感器技术和MEMS技术等研究光谱仪的分光系统、成像系统和探测系统等的一体化三维混合集成,实现光谱仪器的微型化。
中期评估意见:
在国内首次成功地研制出以玻璃为基底的折衍混合集成微小型光纤光谱仪原型样机。提出了微型光谱仪光谱分光聚焦系统的优化设计的理论及方法。提出了微型光谱仪设计满足Nyquist 采样定理的基本条件。
主要参数:
光谱范围:400-800nm
波长重复性:≤±1nm
光谱带宽:≤13nm
象元分辨率:≤2.5nm