利用硅微体加工技术和平面IC加工技 术，实现二维压阻式加速度敏感元与信号获取和温度补偿电路一体化三维集成。该加速度传感器具有性能稳定可靠、体积很小、可批量生产、价格低廉等优点。

在研究中，突破了先平面IC加工，再进行硅微体加工的一体化三维集成技术。