集成硅微机械光压力传感器是利用微电子技术、传感器技术和MEMS技术等将压力弹性敏感膜、条形光波导、光电探测器和固定输入光纤的对位系统一体化三维集成在一块硅基片上而构成的一种新型压力传感器。

该压力传感器集微机械和 集成光学传感器优点于一身， 具有灵敏度高、抗干扰、防爆、 结构紧凑、体积小、成本低、 可靠性高等优点。