利用硅微体加工技术和表面加工技术，实现了硅微阵列加速度传感器的一体化三维集成，拓展了加速度传感器的频带宽度，提高了灵敏度，可作为多个加速度信号的分别获取，又可作为阵列选频传感器使用。

该传感器已提供给深圳深科公司使用。