利用微电子技术、MEMS技术和传感器技术等，实现硅微力平衡电容式加速度传感器的一体化三维混合集成。解决了传感器的引出布线等关键技术。

主要参数：

灵 敏 度：3.25v/g

线 性 度：< 2%

零 漂：< 2mg