依据电磁感应原理，将外部振动能转化为电能的思想，利用MEMS技术研究混合集成微型振动式发电机系统，是实现微电源、微传感器、微执行器、低功耗电路一体化集成的探索。

该微电源系统可广泛应用于植入式医疗装置、无线网络传感系统、微小机器人自由移动系统、微型惯性组合测量系统和航空航天等领域。