依据冷阴极场致发射原理，提出了电流差分式集成真空微电子加速度传感器的新思想。

利用真空微电子技术和MEMS技术等实现该传感器的一体化三维集成。该加速度传感器具有灵敏度高、抗辐射、温度稳定性好、体积小、抗过载自保护等优点。