上海交通大学电子信息与电气工程学院杨卓青副教授作为微纳器件与系统技术重点学科实验室开放课题基金资助的优秀青年学者，2016年5月16日下午到访重庆大学微系统中心做结题总结和学术研究报告，报告会由微系统中心主任徐溢教授主持，副主任陈李副教授以及中心相关师生听取了此次报告。

杨卓青副教授学术报告题目为：微/纳3D集成制造技术典型应用。报告分别从微型无源MEMS惯性开关、纤维/毛细管表面3D集成传感器件、微型电磁振动能量采集器件等三个方面展开。具体介绍了几种典型的传感器件的非硅3D集成制造方法，尤其是一些非硅材料及其微细加工技术新方法，包括诸如：用于物联网传感节点振动监测的无源MEMS惯性开关、用于可穿戴柔性设备的纤维/毛细管表面3D集成传感器技术，以及基于电磁的微型振动能量收集技术。杨卓青副教授的报告从应用背景、器件的创新设计、系统仿真优化，以及集成加工技术等方面详细介绍上述三种典型器件，并对各自未来的发展前景和下一步研究方向作概要总结，期望对新型3D集成制造技术的认识有所帮助。最后，学术报告会在热烈的讨论中圆满结束。